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射頻電源GW4040

射頻電源GW4040，是廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體制造過程中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）鍍膜工藝上的特種電源。輸出有獨(dú)立雙通道，每通道功率可達(dá)20kW，可以輸出方波電壓波形，滿足不同鍍膜工藝要求。

射頻電源GW4040-P

射頻電源GW4040-P，是廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池制造過程中，PE-Poly工藝上的特種電源。輸出有獨(dú)立雙通道，每通道功率可達(dá)20kW，可以輸出方波電壓波形，滿足不同鍍膜工藝要求

射頻電源GW20040-F

射頻電源GW20040-F， 具備獨(dú)立雙通道的射頻電源設(shè)備。每通道功率可達(dá)20kW，可以輸出方波電壓波形，滿足多種鍍膜工藝要求。

射頻電源GW4060

射頻電源GW4060，是廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體制造過程中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）鍍膜工藝上的特種電源。輸出有獨(dú)立雙通道，每通道功率可達(dá)30kW，可以輸出方波電壓波形，滿足不同鍍膜工藝要求。

射頻電源GW4030

射頻電源GW4030，具備單通道輸出的射頻電源設(shè)備。單通道功率可達(dá)30kW，可以輸出方波電壓波形，滿足不同鍍膜工藝要求。