射頻電源GW4040
射頻電源GW4040，是廣泛應(yīng)用在太陽能電池和半導(dǎo)體制造過程中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）鍍膜工藝上的特種電源。輸出有獨(dú)立雙通道，每通道功率可達(dá)20kW，可以輸出方波電壓波形，滿足不同鍍膜工藝要求。
GW4040主要技術(shù)參數(shù)：
輸入電壓：323Vac~475Vac，三相+地線
輸入頻率：45Hz~64Hz
輸出通道數(shù)量：2
每通道輸出功率：20kW
每通道最高輸出電壓：800V
每通道最大輸出電流：55A
輸出頻率：40kHz，可調(diào)
輸出控制模式：恒功率、恒壓、恒流
開關(guān)機(jī)控制方式：RS485、模擬接口
安裝尺寸（長(zhǎng)*寬*高）：700mm*482mm*178mm
工作溫度：+5℃~+45℃
冷卻方式：水冷
