射頻電源GW4060
射頻電源GW4060,是廣泛應用在太陽能電池和半導體制造過程中,等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。輸出有獨立雙通道,每通道功率可達30kW,可以輸出方波電壓波形,滿足不同鍍膜工藝要求。
GW4060主要技術參數(shù):
輸入電壓:323Vac~475Vac,三相+地線
輸入頻率:45Hz~64Hz
輸出通道數(shù)量:2
每通道輸出功率:30kW
每通道最高輸出電壓:800V
每通道最大輸出電流:82A
輸出頻率:40kHz,可調
輸出控制模式:恒功率、恒壓、恒流
開關機控制方式:RS485、模擬接口
安裝尺寸(長*寬*高):700mm*482mm*178mm
工作溫度:+5℃~+45℃
冷卻方式:水冷